补偿式。30 SCCM、200 SCCM、1000 SCCM：0 mbar 至 1.25 mbar，0 mbar 至 5.0 mbar。模拟输出

同 AWM2000 系列一样，惠斯顿双电桥控制气体流量测量。AWM3000 系列具有放大功能，因此能用于提升增益和将电压偏移引入传感器输出。加热器控制电路和传感桥供电电路位于封装电路板上。

注意：产品损伤

AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。

不遵守这些说明可能会导致产品受损。