专为半导体工艺设备应用而设计的高纯度、抗腐蚀的压力传感器

产品概述

霍尼韦尔科技HPT 系列高纯压力传感器采用压阻式传感技术与ASIC 信号调理，设计为不锈钢外壳，具备电气连接功能。其全面的温度补偿和校准确保了高精度的压力测量，适合在半导体等要求严苛的环境中使用。

潜在应用

适用于半导体产线的特气柜、供气控制面板、VMB、VMP 等的高纯度压力测量和控制。

产品功能和特点

• IEC61298-2 标准下精度为±0.5%FSS，确保系统高效且稳定。
• 可提供-14.7 至250 PSI 及-14.7 至3000 PSI 的测量范围，适应多种需求。
• 可在-20ºC 至85ºC 的环境温度下正常工作。
• 使用316L VIM-VAR 材料，减少对环境的敏感性，提高产品寿命。
• 强大的电磁兼容性，能够在电磁干扰环境中稳定运行，保证测量准确。