霍尼韦尔创新传感技术，助力半导体制程效能升级

美国北卡罗来纳州夏洛特，2025年10月29日——霍尼韦尔（纳斯达克代码：HON）宣布推出13MM系列真空压力传感器。这款新型压力传感器专为洁净室环境设计，可为半导体生产等高纯度行业提供制程支持，显著减少污染与缺陷，同时提高良率。

^{图为：13MM系列真空压力传感器}

“在半导体行业，质量至关重要。”霍尼韦尔传感科技事业部总裁Carmen Becker表示，“随着行业持续增长和发展，市场对晶圆制造技术的需求日益提升，这类技术需在高效运行的同时，避免向制程中引入杂质。通过集成13MM系列真空压力传感器这类传感创新技术，我们助力半导体行业提高测量精度和制造可靠性。”

不同于其它压力传感器在真空环境下易“漂移”，长期使用会导致读数精度下降，而霍尼韦尔的13MM系列真空压力传感器在高温工况下能依然保持精准运行，且偏移漂移量极小。该传感器兼容半导体制程中的各类常见气体，帮助设备实现高精度运转，从而生产符合严苛规格要求的晶圆。

“在半导体领域，我们的核心传感组件通过全球领先的设备商渗透到了半导体生产的各个环节。”霍尼韦尔传感科技事业部中国总经理徐晏清表示，“对我们业务而言，当前的重点是紧抓中国半导体设备的发展浪潮，做好半导体高端设备产业发展的赋能者。”

13MM系列真空压力传感器满足半导体行业有关金属成分及表面粗糙度的严格标准 (SEMI F20)，不仅显著减少传感器向制程引入潜在杂质，还降低了缺陷率并提高整体良率，从而减少晶圆在加工过程中的报废。

除了半导体加工领域，13MM系列真空压力传感器同样适用于其它要求超高纯环境的行业，比如太阳能电池板制造、显示器制造、生物制药生产、食品饮料生产、先进光学器件及医疗器械制造等领域。

关于霍尼韦尔

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